泵的細(xì)節(jié)也不同,如制造公差,密封材料,壓力,流量,進(jìn)氣或不允許油蒸汽,維修間隔,靠譜性,灰塵耐受性,化學(xué)品耐受性,液體耐受性和振動。三葉型羅茨真空泵可以通過增加容器的體積來產(chǎn)生部分真空。為了在不需要生長的情況下繼續(xù)抽空腔室,可以重復(fù)地關(guān)閉,排出和再次膨脹真空室。這是正排量泵的原理,例如手動水泵。在泵里面,一個機(jī)構(gòu)擴(kuò)展了一個小的密封腔,以將其壓力減少到力以下。由于壓力差,來自腔室(或在我們的示例中的井)中的一些流體被推入泵的小腔中。然后將泵的腔體與腔室密封,向開放,并擠回到微小尺寸。橡膠和塑料密封的活塞泵系統(tǒng)的基礎(chǔ)壓力通常為1至50 kPa,而渦旋泵可能達(dá)到10 Pa(新的時候),帶有清潔且空的金屬腔的旋轉(zhuǎn)葉片油泵可達(dá)到0.1霸。正排量真空泵在每個中移動相同體積的氣體,因此其泵送速度是恒定的,除非通過回流克服。在動量傳遞泵中,氣體分子從真空側(cè)加速到排氣側(cè)(通常通過正排量泵保持在減壓下)。動量傳遞泵送可在約0.1kPa的壓力下進(jìn)行。根據(jù)流體動力學(xué)定律,物質(zhì)在不同壓力下的流動方式不同。在壓力和溫和的真空下,分子相互作用并以所謂的粘性流動推動其相鄰分子。當(dāng)分子之間的距離增加時,分子與腔室的壁相比與其他分子相比比較頻繁地相互作用,并且分子泵送變得比正位移泵送有成效。這種制度通常被稱為高真空。
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